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典型工艺流程
(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
· 预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象
· 预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5µm精密过滤器－用水对象
· 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5µm精密过滤器－用水对象
· 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5µm精密过滤器－用水对象
应用场合
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
· 超纯材料和超纯化学试剂；
· 实验室和中试车间
· 汽车、家电表面抛光处理；
· 其他高科技精微产品.
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